洁净室中的温湿度控制：
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产蕞佳温度范围为35—45%。
无尘净化车间洁净棚的优势，施工速度快，安装方便，操作简便灵活，可移动。成本较低，维护方便，对楼层高度低不限。容易控制，FFU每台自带风机。洁净棚的框架一般有三种：不鏽钢方通，铁方通，铝型材。洁净棚顶部材料一般有三种，不鏽钢板，冷轧钢板喷塑，防静电网格围帘，有机玻璃。洁净送风部分，一般选择FFU层流罩（FFU风机过滤单元）洁净棚的围护材料一般包括：防静电围帘，（防静电）有机玻璃。无尘净化车间清洁洁净室的地面应使用拖把。在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的真空吸尘器。所有的门都需要检查并擦干，吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面，架空地板下也要吸尘及擦拭。三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。
三十万级洁净区升为十万级净化空调系统需要改造么?怎么改造?他们有什么区别？
一般来说是要改造的，因为当时设计的级别不一样，要求也就不一样。
至于改造，那要看你原来的30万级的空调系统验证结果来看。空气过滤器认为，首先考虑风柜的初效过滤器\中效过滤器要更换，然后好也要更换，其次，考虑每个送风口的风量是否足够？如果不够，就要加大风量，甚至更换送风机，还有温湿度控制是否达到要求？还有例如自净时间、排风系统等等都要考虑是否满足十万级要求。
总之，要看你原来三十万级的系统的情况看是否需要进一步的改造
10万级洁净室，十万级洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
以上信息由专业从事厂房动力电设计的晴朗净化于2025/5/4 14:00:12发布
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