无尘车间的特殊优势。无尘车间可以将洁净气流尽快的分布到整个洁净区,然后以此来冲淡室内污染源塞不的尘、菌以及对空气的污染,从而达到生产环境所要求的洁净度。不但如此,无尘车间还能将污染源尽快的在室内排出,减少尘、菌在室内的停留时间,缩小不洁物质跟产品接触的几率。无尘车间是指控制产品(如硅片)所暴露的大气的清洁度和温度湿度,以便产品能够在良好的环境中生产和制造。这个环境空间的设计和建造过程可以称为净化工程。
无尘净化车间采用的主要气流结构无尘净化车间采用的主要气流结构分为两类:湍流(层流)。室内粉尘源中产生的粉尘均铲散并“稀释”。并流无尘室,无尘室,重组,艰苦的建设,运营成本均仅在非常需要此过程时才使用孤岛。混沌流体净化工程主要是为了控制稀释效果,因此不同于普通空调采用的气流结构。它的原理是满足过程和人体卫生要求,并阻止涡流将灰尘带到该区域之外。减少工件的净化机会。无液室,无尘室,无尘车间,净化工程组织简单,施工方便,运行费用少。因此,大多数洁净室和无尘车间都采用这种方法。
洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室:将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
以上信息由专业从事电子净化车间公司的晴朗净化于2025/1/11 20:20:53发布
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