由于技术原因和制造工序的复杂程度高,集成电路制造是对洁净度整体要求高的行业。集成电路由于技术的复杂程度与日俱增,对于空气洁净度的要求也越来越高,重要工艺区需保持1-4级的洁净度。而其他大部分行业比如食品制造,药品,医学等行业对洁净度的要求大多在5-9级,远低于集成电路和新型显示对洁净度的要求。随着技术的进步,集成电路对洁净度的要求越来越高。
洁净空调系统设计原则:投资合理原则:初投入符合经济节约的原则,又满足各生产岗位对温度、湿度、洁净度等洁净环境的要求;运行经济原则:考虑节约能源、运行可靠、维护简单,减少日后运行及维护费用。节约的运行费用符合长期的经济原则。技术先进原则:净化系统送风口采用定风量阀设计,配合环境监测系统,保证洁净区各参数恒定,节省能耗。耐用原则:壁板选用PU彩钢板;主机等主要材料选用有名的厂家品牌。
为了达到洁净室的功能目的与制造过程设备支持以及系统动力需求、人员操作安全等,在洁净室的建造过程中,除了厂房的主体结构施工外,还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统(含特种气体供应等)及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防安全报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。
洁净房装修:天花板:洁净区及生产区域用双层保温(PU)彩钢板,无尘明亮,色灰白,厚50mm。符合电子厂房洁净防静电要求。间隔:洁净区及生?区用双面彩钢保温(PU)板围护及间隔。洁净车间内间隔与地面及无花交角做圆弧及阴角接口,防积尘及易於卫生清洁。密闭门:单扇门:900*2000,上做玻璃观察窗(同间隔墙平窗尺寸),装通道锁,门及门框采用不湫钢制作。地面:防静电规范 A.洁净区水泥地面经处理后做3mm防静电环氧地坪。符合欧洲EN548标准和要求。防火性能符合:DIN4102-1,B1级:抗燃烧性符合ISO06923:难燃:抗静电性<+/-100V 抗化学性能符合EM423:耐稀酸、油脂、及乙醇、石渍溶剂等。具有不吸尘、不吸灰的特性。柱子:洁净区柱子用彩钢板全包边,并作回风技术夹层。风淋室:按规范要求,洁净房的风淋室设计双人,2个:
以上信息由专业从事百级净化厂房设计的晴朗净化于2024/12/16 15:52:23发布
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